在半導體制造領域,晶圓轉運的精度每提升0.01毫米,良品率就能躍升一個量級;車間潔凈度每降低一粒微塵,都可能引發數百萬的損失。傳統人工搬運和單功能設備正成為制約行業突破的瓶頸,而一場由復合機器人引領的智能制造革命已悄然降臨。

一、手腳眼腦協同,破解半導體制造核心痛點
富唯智能復合機器人深度融合協作機械臂、AMR移動底盤與3D視覺系統,形成“手腳眼腦”一體化架構,直擊半導體制造的三大核心需求:

1.毫米級操作精度:機械臂重復定位精度達±0.02mm,結合自研2D視覺(±0.05mm)與3D視覺(±0.2mm),實現晶圓、芯片的無損抓取,良品率提升至99.9%;

2.千級潔凈環境適配:全封閉機身與防靜電材料設計,徹底消除微粒污染與靜電損傷,滿足半導體車間苛刻的潔凈標準;
3.跨區域柔性轉運:激光SLAM導航技術(±5mm精度)賦能360°全向移動,在密集設備間自主避障,替代傳統軌道傳輸的剛性限制;

4.鍵合絲復繞自動化:在毫米級空間內精準對接復繞機與料柜,同步完成表面質量檢測,漏檢率降低至近乎為零,保障90%芯片互連材料的生產穩定性;
5.動態產能響應:訂單波動期,系統支持2小時內完成產線重組,實現跨樓層物料流轉,緊急插單響應效率提升300%;
二、技術內核:智能協同與極速部署的行業革新
富唯智能通過三大創新技術重構半導體生產邏輯:

1.集群調度系統(FRDS):支持30臺機組協同作業,實時接收MES指令并動態分配任務,避讓效率提升200%,徹底杜絕物料排隊擁堵;
2.零代碼快速部署:圖形化編程界面實現任務鏈“拖拽式”配置,車間人員1小時培訓即可操作;新增產線時通過“地圖熱更新”功能,30分鐘完成系統適配;
3.模塊化生態兼容:機械臂、AGV底盤、視覺系統按需組合,支持Modbus TCP/Profinet等工業協議,無縫對接CNC機床與MES系統,構建全流程智能閉環;
當機械臂在無塵車間劃出流暢軌跡,當AMR載著晶圓盒穿越設備叢林——富唯智能復合機器人正以±0.02mm的精度、99.9%的良率保障、30分鐘的產線重組速度,重新定義半導體制造的效率邊界。未來,隨著更多半導體企業擁抱這場“手腳眼腦”協同的技術革命,中國芯的智造脈搏將跳動得更加鏗鏘有力。